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 Investigation on the preparation of large area diamond films with 150–200 mm in diameter using 915 MHz MPCVD system 915 MHz MPCVD系统制备直径150~200 mm大面积金刚石薄膜的研究
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期刊：Vacuum 作者：Jun Wei; F. Liu; Z.T. Wang; Naihao Guo; Fuyou Fan; et al 出版日期：2023-11-01 |
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