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 High-Performance TiO2/ZrO2/TiO2 Thin Film Capacitor by Plasma-Assisted Atomic Layer Annealing 等离子体辅助原子层退火制备高性能TiO2/ZrO2/TiO2薄膜电容器
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Seunghyeon Lee; Geongu Han; Keun Hoi Kim; Dongha Shim; Dohyun Go; et al 出版日期：2024-06-17 |
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