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Enhancing control in spatial atomic layer deposition: insights into precursor diffusion, geometric parameters, and CVD mitigation strategies |
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期刊:Nanotechnology 作者:Thien Thanh Nguyen; Diem Nguyen Thi Kieu; Hao Van Bui; Loan Le Thi Ngoc; Việt Hương Nguyễn 出版日期:2024-02-13 |
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