Defining Tatian-Zernike polynomials for use in a lithography simulator

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标题	Defining Tatian-Zernike polynomials for use in a lithography simulator
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2660861
DOI	10.1117/12.2660861 doi
其它	期刊：Optical and EUV Nanolithography XXXVI 作者：Ethan Maguire; Rajiv Sejpal; Bruce W. Smith 出版日期：2023-04-28
求助人	脆弱的刺猬在 2026-09-22 14:10:24 发布自河南，悬赏 20 积分
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