Heteroepitaxial growth of Ga2O3 on 4H-SiC by liquid-injection MOCVD for improved thermal management of Ga2O3 power devices

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标题	Heteroepitaxial growth of Ga2O3 on 4H-SiC by liquid-injection MOCVD for improved thermal management of Ga2O3 power devices
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00026...
DOI	10.1116/6.0002649 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Fedor Hrubišák; Kristína Hušeková; Xiang Zheng; Alica Rosová; Edmund Dobročka; et al 出版日期：2023-06-08
求助人	缘起在 2026-08-24 20:43:29 发布自湖南，悬赏 10 积分
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