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 Comparison of SiNx Dielectric Layer Grown by Plasma‐Enhanced Chemical Vapor Deposition, Low‐Pressure Chemical Vapor Deposition, and Metal‐Organic Chemical Vapor Deposition in Diamond‐ and GaN‐Based Integrated Devices 相关领域
化学气相沉积
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期刊：Physica Status Solidi B-basic Solid State Physics 作者：Haolun Sun; Mei Wu; Ping Wang; Chao Yuan; Guoliang Ma; et al 出版日期：2024-05-26 |
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