Understanding the evolution of trench profiles in the via-first dual damascene integration scheme

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标题	Understanding the evolution of trench profiles in the via-first dual damascene integration scheme
网址	https://doi.org/10.1116/1.1345897
DOI	10.1116/1.1345897 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Tom Kropewnicki; K. Doan; Betty Tang; C. Bjorkman 出版日期：2001-07-01
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