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标题
Measuring Key Parameters (Depth and Bottom CD) in Deep Trench Isolation Applications (>50 μm) with the New SpectraShape™
网址
https://ieeexplore.ieee.org/document/11010330
DOI
10.1109/ASMC64512.2025.11010330 doi
求助人
ZYC007 在 2026-07-14 15:02:49 发布自江苏，悬赏 20 积分
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