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DEPOSITION OF PtxIr(1–x) FILM STRUCTURES BY MOCVD FROM A COMBINATION OF PRECURSORS Me3Pt(acac)Py AND Ir(CO)2(acac)
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DOI
10.1134/s0022476622070083 doi
其它 期刊:Journal of Structural Chemistry
作者:S. I. Dorovskikh; K.I. Karakovskaya; E. S. Vikulova; Ilya V. Korolkov; T. P. Koretskaya; et al
出版日期:2022-07-01
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