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 Materials’ properties of low temperature deposited Cu/W and Cu/Cr multilayer thin films using high power impulse magnetron sputtering 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Yu Huang; Tra Anh Khoa Nguyen; Nhat Minh Dang; Haoyu Wang; Ming-Tzer Lin 出版日期：2024-04-16 |
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