Low-damage precision slicing of SiC by simultaneous dual-beam laser-driven crack expansion of silicon carbide

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标题	Low-damage precision slicing of SiC by simultaneous dual-beam laser-driven crack expansion of silicon carbide
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.optlastec.2025.113960
DOI	10.1016/j.optlastec.2025.113960 doi
求助人	fzzf 在 2026-11-02 20:16:46 发布自河南，悬赏 10 积分
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