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标题
Multi-Mems Differential Pressure Sensor Elements-Based Airflow Sensor with Neural Network Model
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DOI
10.1109/mems49605.2023.10052249 doi
其它 期刊:2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
作者:Kotaro Haneda; Kenei Matsudaira; Hidetoshi Takahashi
出版日期:2023-03-02
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