Chemical conversion of MoS2 thin films deposited by atomic layer deposition (ALD) into molybdenum nitride monitored by in situ reflectance measurements

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标题	Chemical conversion of MoS2 thin films deposited by atomic layer deposition (ALD) into molybdenum nitride monitored by in situ reflectance measurements
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002678
DOI	10.1116/6.0002678 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：J. Patouillard; R. Gassilloud; F. Mercier; A. Mantoux; R. Boichot; et al 出版日期：2023
求助人	nyzcc 在 2026-04-19 21:59:42 发布自广东，悬赏 10 积分
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