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标题
Phosphorus-doped nanocrystalline silicon-oxycarbide thin films
磷掺杂纳米晶碳化硅薄膜
相关领域
材料科学 结晶度 等离子体增强化学气相沉积 纳米晶材料 纳米晶 带隙 掺杂剂 兴奋剂 分析化学（期刊） 粒度 薄膜 X射线光电子能谱 基质（水族馆） 硅 纳米技术 化学工程 光电子学 化学 复合材料 色谱法 工程类 地质学 海洋学
网址
https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2021.160094
DOI
10.1016/j.jallcom.2021.160094 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Sukalyan Shyam; Debajyoti Das
出版日期：2021-04-24
求助人
blue 在 2025-08-29 08:34:54 发布，悬赏 10 积分
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