Ultrasonic vibration assisted chemical mechanical polishing research of PS/CeO2 core–shell abrasives on SiC ceramics

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标题	Ultrasonic vibration assisted chemical mechanical polishing research of PS/CeO2 core–shell abrasives on SiC ceramics PS/CeO2核壳磨料超声振动辅助化学机械抛光SiC陶瓷研究相关领域抛光材料科学陶瓷化学机械平面化超声波传感器复合材料芯（光纤）壳体（结构）振动冶金声学物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.164355
DOI	10.1016/j.apsusc.2025.164355 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Shengqiang Jiang; Liuqing Liu; Jingjie Wang; Xu Li; Ming Mei; et al 出版日期：2025-08-01
求助人	杜faifai 在 2025-09-19 20:56:37 发布自吉林，悬赏 10 积分
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