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 A BP-Smith combined temperature control method for thin film preparation processing 一种用于薄膜制备过程的BP-Smith组合温度控制方法
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Yajie Huang; Donglai Zhang; Bin Zhang; Shimin Pan; Anshou Li; et al 出版日期：2024-12-19 |
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