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标题
Polishing single-crystal silicon carbide with porous structure diamond and graphene-TiO2 slurries
多孔结构金刚石和石墨烯-TiO2浆料抛光单晶碳化硅
相关领域
泥浆 材料科学 钻石 抛光 磨料 薄脆饼 纳米金刚石 表面粗糙度 碳化硅 化学机械平面化 复合材料 冶金 纳米技术
网址
https://doi.org/10.1007/s00170-019-04223-x
DOI
10.1007/s00170-019-04223-x doi
其它 期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
作者：Ming Yi Tsai; Zuan Tang Hoo
出版日期：2019-09-12
求助人
浮梦 在 2025-10-22 09:04:27 发布自北京，悬赏 10 积分
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