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 Close-to-Atomic Precision Surface Achieved through a Neutral and Eco-friendly Slurry in Chemical Mechanical Polishing of TC4 Alloy 在TC4合金的化学机械抛光中，通过中性和环保浆料获得接近原子的精度表面
相关领域
抛光
环境友好型
泥浆
合金
材料科学
化学机械平面化
腐蚀
钛合金
碱金属
冶金
化学工程
纳米技术
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化学
工程类
有机化学
生物
生态学
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期刊：ACS Sustainable Chemistry & Engineering 作者：Jinwei Liu; Liyun Liu; Peng Zhang; Yu‐Peng He; Deping Yu; et al 出版日期：2024-10-16 |
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