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标题
Studies on high quality GaN/AlN deposited on glass substrates by radio-frequency reactive sputtering
射频反应溅射在玻璃衬底上沉积高质量GaN/AlN的研究
相关领域
溅射 材料科学 无线电频率 质量（理念） 光电子学 薄膜 纳米技术 物理 计算机科学 电信 量子力学
网址
https://doi.org/10.1007/s00339-024-07960-3
DOI
10.1007/s00339-024-07960-3 doi
其它 期刊：Applied Physics A
作者：Wei‐Sheng Liu; Sui-Hua Wu; G. Balaji; Licheng Huang; Chung-Kai Chi; et al
出版日期：2024-10-16
求助人
隐形曼青 在 2025-12-05 09:50:21 发布自安徽，悬赏 10 积分
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