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 Low-Temperature Deep Ultraviolet Laser Polycrystallization of Amorphous Silicon for Monolithic 3-Dimension Integration 用于单片三维集成的非晶硅低温深紫外激光多晶化
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Manh-Cuong Nguyen; Jiyeon Yoon; An Hoang-Thuy Nguyen; Yeong-Cheol Seok; Namhun Kim; et al 出版日期：2021-04-21 |
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