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标题
Low-Temperature Deep Ultraviolet Laser Polycrystallization of Amorphous Silicon for Monolithic 3-Dimension Integration
用于单片三维集成的非晶硅低温深紫外激光多晶化
相关领域
材料科学 光电子学 多晶硅 硅 退火（玻璃） MOSFET 非晶硅 混合硅激光器 激光器 晶体管 图层（电子） 电气工程 薄膜晶体管 晶体硅 纳米技术 光学 复合材料 电压 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1109/led.2021.3074627
DOI
10.1109/led.2021.3074627 doi
其它 期刊：IEEE Electron Device Letters
作者：Manh-Cuong Nguyen; Jiyeon Yoon; An Hoang-Thuy Nguyen; Yeong-Cheol Seok; Namhun Kim; et al
出版日期：2021-04-21
求助人
隐形曼青 在 2025-08-30 19:12:15 发布，悬赏 10 积分
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