A Reflective-Type Heterodyne Grating Interferometer for Three-Degree-of-Freedom Subnanometer Measurement

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标题	A Reflective-Type Heterodyne Grating Interferometer for Three-Degree-of-Freedom Subnanometer Measurement 相关领域栅栏干涉测量外差（诗歌）物理衍射光栅光学计算机科学声学
网址	https://doi.org/10.1109/TIM.2022.3213005
DOI	10.1109/TIM.2022.3213005 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 作者：Junhao Zhu; Guochao Wang; Shengtong Wang; Xinghui Li 出版日期：2022-01-01
求助人	繁荣的从灵在 2025-10-13 21:25:03 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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