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标题
Study of Y2O3 Thin Film Prepared by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
等离子体增强原子层沉积法制备Y2O3薄膜的研究
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网址
https://iopscience.iop.org/article/10.1149/06409.0015ecst
DOI
10.1149/06409.0015ecst doi
其它 期刊：ECS Transactions
作者：Gu Young Cho; Seungtak Noh; Yoon Ho Lee; Sanghoon Ji; Suk Won Cha
出版日期：2014-10-01
求助人
悦耳的淇 在 2025-05-22 19:14:41 发布自福建，悬赏 10 积分
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