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A Model for the Electrochemical Deposition and Removal of Metallic Impurities on Si Surfaces
硅表面金属杂质的电化学沉积与去除模型
相关领域
杂质
沉积(地质)
电化学
材料科学
金属
化学工程
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沉积物
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期刊:IEICE Transactions on Electronics 作者:Hitoshi Morinaga; Makoto Suyama; Masashi Nose; Steven Verhaverbeke; Tadahiro Ohmi 出版日期:1996-03-25 |
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