Ammonia vapor-assisted plasma activation and mechanism study for high-strength direct wafer bonding of silicon oxide

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标题	[求助补充材料] Ammonia vapor-assisted plasma activation and mechanism study for high-strength direct wafer bonding of silicon oxide
网址	https://doi.org/10.1016/j.matchar.2026.116100
DOI	10.1016/j.matchar.2026.116100 doi
其它	期刊：Materials Characterization 作者：Xiaohui Yuan; Shijiao Xu; Linjie Liu; Xiangyu Zhou; Kaimeng Liu; et al 出版日期：2026-01-30
求助人	背后妙旋在 2026-08-24 10:26:27 发布自江苏，悬赏 20 积分
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