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 Effects of single- and multi-pulse femtosecond laser irradiation on N-type 4H-SiC surface morphology, structural transformation, and accompanying defect generation 相关领域
材料科学
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期刊：Optics & Laser Technology 作者：Mengda Wang; Chengrui Tian; Runsheng Zheng; Yan Liu; Mingyang Wei; et al 出版日期：2026-01-01 |
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