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 Investigation of surface defects and parameter optimization of chromium oxide films in a mid-frequency dual-magnetron sputtering 相关领域
材料科学
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期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Xiang Yu; Xi Yang; Cheng-Biao Wang; M. Hua; Zhi-Qiang Fu 出版日期：2013-08-15 |
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