Physical properties and high-temperature oxidation resistance of sputtered Si3N4∕MoNx nanocomposite coatings

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标题	Physical properties and high-temperature oxidation resistance of sputtered Si3N4∕MoNx nanocomposite coatings 相关领域材料科学热重分析无定形固体纳米复合材料电子探针氮化物退火（玻璃）薄膜腔磁控管溅射沉积分析化学（期刊）相（物质）复合材料氧化物溅射化学工程图层（电子）冶金化学结晶学纳米技术有机化学工程类
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/23/4/1568/15692439/...
DOI	10.1116/1.1947798 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：J. Musil; P. Dohnal; P. Zeman 出版日期：2005-07-21
求助人	金金金在 2026-09-29 10:15:02 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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