Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for EUVL by magnetron sputtering deposition with bias assistance

已完结

文献求助详情

标题	Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for EUVL by magnetron sputtering deposition with bias assistance 相关领域极紫外光刻偏压材料科学溅射沉积压力（语言学）溅射 X射线反射率沉积（地质）光学分析化学（期刊）薄膜光电子学电压化学纳米技术电气工程物理生物沉积物色谱法工程类哲学古生物学语言学
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2294479
DOI	10.1117/12.2294479 doi
其它	期刊：Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IX 作者：Bo Yu; Chun-shui Jin; Changqing Xie; Li-ping Wang; Hailiang Li; et al 出版日期：2018-03-19
求助人	美好斓在 2026-10-11 10:23:50 发布自河南，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: ffff发布了新的文献求助10

刚刚; alaxs发布了新的文献求助10

刚刚; 英姑的应助被小杨采纳，获得10

1秒前; 搜集达人的应助被辰星采纳，获得10

1秒前; 共享精神上传了应助文件

1秒前; 米老头完成签到，获得积分10

1秒前; cqt发布了新的文献求助10

1秒前; ding上传了应助文件

1秒前; 科研通AI6.4的应助被彭淑华采纳，获得10

2秒前; 李健的小迷弟上传了应助文件

2秒前; DW的应助被infinity采纳，获得10

2秒前; 简单的大白发布了新的文献求助10

2秒前; zack6119的应助被青云采纳，获得60

2秒前; molihuakai上传了应助文件

3秒前; 凤起发布了新的文献求助10

3秒前; fshell发布了新的文献求助10

3秒前; TAboo完成签到，获得积分10

4秒前; 思源的应助被肾宝采纳，获得10

5秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

5秒前; zz发布了新的文献求助10

5秒前; CC完成签到，获得积分10

5秒前; Willing发布了新的文献求助10

6秒前; 传奇3的应助被米老头采纳，获得10

6秒前; wangyumumu的应助被payload采纳，获得10

6秒前; 慕青上传了应助文件

6秒前; Awww发布了新的文献求助10

6秒前; Orange的应助被Mmxn采纳，获得10

7秒前; 糊涂的豁的应助被中杯西瓜冰采纳，获得10

7秒前; 德行天下完成签到，获得积分10

7秒前; 威武红酒完成签到，获得积分10

7秒前; 杜嘟嘟发布了新的文献求助10

7秒前; 舒心灵枫完成签到，获得积分10

8秒前; EVSSDF完成签到，获得积分10

8秒前; xiyan发布了新的文献求助10

8秒前; Lc完成签到，获得积分10

8秒前; 小二郎的应助被观自在采纳，获得10

8秒前; xiaolizi上传了应助文件

8秒前; 搜集达人的应助被zzcres采纳，获得10

9秒前; zwf123发布了新的文献求助10

9秒前; NGU完成签到，获得积分10

9秒前