UV surface pre-treatment and wet cleaning of Ruthenium MP18 semi-damascene structures

已完结

文献求助详情

标题	[高分] UV surface pre-treatment and wet cleaning of Ruthenium MP18 semi-damascene structures 钌MP18半镶嵌结构的UV表面预处理和湿法清洗
网址	https://doi.org/10.1109/IITC66087.2025.11075448
DOI	10.1109/IITC66087.2025.11075448 doi
其它	期刊：2025 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) 作者：Fulya Ulu Okudur; Dennis van Dorp; Quoc Toan Le; Tomoya Tanaka; Teppei Nakano; et al 出版日期：2025
求助人	Dio 在 2025-12-01 22:07:42 发布自中国台湾，悬赏 50 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科研通AI6上传了应助文件

2秒前; GingerF的应助被无为采纳，获得200

3秒前; 奶油蜜豆卷发布了新的文献求助10

4秒前; NexusExplorer上传了应助文件

6秒前; 发嗲的雨筠完成签到，获得积分10

7秒前; Ciri完成签到，获得积分10

7秒前; 在水一方的应助被逝水采纳，获得10

8秒前; NexusExplorer上传了应助文件

8秒前; 毒蕈碱发布了新的文献求助10

11秒前; 成就的南霜完成签到，获得积分10

12秒前; gogpou发布了新的文献求助10

12秒前; 在水一方的应助被爱吃榴莲采纳，获得10

12秒前; 科研通AI6上传了应助文件

13秒前; Shooter上传了应助文件

15秒前; 科研通AI6的应助被吃狼的羊采纳，获得10

15秒前; GingerF上传了应助文件

16秒前; Lion完成签到，获得积分10

16秒前; Lucas上传了应助文件

17秒前; 香蕉觅云上传了应助文件

19秒前; hitdsh上传了应助文件

19秒前; FashionBoy上传了应助文件

19秒前; 浮游的应助被意面采纳，获得10

19秒前; 桐桐的应助被一阳采纳，获得10

20秒前; 核桃上传了应助文件

21秒前; 隐形曼青上传了应助文件

22秒前; 青藤发布了新的文献求助10

22秒前; ysss的应助被背星星的水獭采纳，获得30

23秒前; 小样发布了新的文献求助10

24秒前; LL完成签到，获得积分10

24秒前; 咎不可发布了新的文献求助10

24秒前; jklhughjgiu发布了新的文献求助10

24秒前; 科研通AI6的应助被唐唐采纳，获得10

25秒前; 田様的应助被Minn采纳，获得10

25秒前; CipherSage的应助被杨朝辉采纳，获得10

27秒前; 自信尔竹发布了新的文献求助10

28秒前; 充电宝上传了应助文件

29秒前; muyaa关闭了muyaa的文献求助

29秒前; yin完成签到，获得积分10

29秒前; 呜呜呜呜完成签到，获得积分20

29秒前; xxfsx上传了应助文件

30秒前