| 标题 |
Metadiffuser fabricated by DUV KrF 248nm photolithography for wavefront manipulation DUV KrF 248nm光刻制备用于波前操纵的元扩散器
相关领域
光刻
材料科学
波前
光电子学
光学
物理
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊: 作者:Hsuehli Liu; C. S. Chou; Linchia Huang; Wilson Guo; Peichen Yu; et al 出版日期:2023-10-04 |
| 求助人 | |
| 下载 | 暂无链接,等待应助者上传 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|