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标题
4 inch 11 μm high-quality AlN thick films grown on nanopatterned sapphire substrates
在纳米图案蓝宝石衬底上生长的4英寸11 μ m高质量AlN厚膜
相关领域
材料科学 蓝宝石 位错 金属有机气相外延 外延 化学气相沉积 合并（版本控制） 光电子学 复合材料 结晶学 图层（电子） 光学 化学 激光器 物理 计算机科学 情报检索
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad85b9
DOI
10.35848/1347-4065/ad85b9 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Lei Yao; Yu Xu; Yuning Wang; Guobin Wang; Jianxi Xu; et al
出版日期：2024-10-10
求助人
听雨 在 2025-12-05 02:48:48 发布自北京，悬赏 10 积分
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