| 标题 |
电感耦合等离子体质谱法测定电子级丙二醇甲醚醋酸酯中痕量金属杂质含量
|
| 网址 |
求助人暂未提供
|
| DOI |
暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
|
| 其它 |
电感耦合等离子体质谱法测定电子级丙二醇甲醚醋酸酯中痕量金属杂质含量 杨丹李运泉梁泱泱黄华佑唐杏莉欧阳景臻 广东省特种设备检测研究院顺德检测院 摘要：准确测定电子级丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）的金属杂质含量，可作为其用于芯片及硅圆片表面的清洗过程的品控支持。利用全基体进样系统（AMS）实现有机加氧，通过电感耦合等离子体质谱法测定电子级PGMEA中的30种痕量金属杂质含量，结果表明：AMS加氧避免了有机碳沉积，标准模式（STD）-动态反应池模式（DRC）减少或消除质谱干扰；测得方法检出限为0.09～4.10μg/kg(B除外)，定量限为0.30～13.66μg/kg(B除外)，加标回收率为91.98%～106.69%，相对标准偏差（RSD）≤6.9%，可用于检测电子级丙二醇甲醚醋酸酯的痕量金属杂质。 关键词： 电子级丙二醇甲醚醋酸酯;痕量金属杂质;电感耦合等离子体质谱;标准加入法; 基金资助： 《光刻胶材料质量检测方法及标准化研究与应用》（2024CT11）； 《超净高纯化学试剂分离纯化及其应用研究》（2024QT-2-01）； DOI： 10.20220/j.cnki.1001-9677.2025.18.022 专辑： 工程科技Ⅰ辑 专题： 化学;有机化工 分类号： O657.63;TQ413 在线公开时间： 2025-10-11 09:01（知网平台在线公开时间，不代表文献的发表时间） |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
无极微光
cdercder
Copyright
潇洒的惋清
伶俐妙海
yjh123
phdbio
OK
Nexus
Nole
pluto
huang
arniu2008
初景
sagitar
Criminology34
kimyb
Kao
走四方
GingerF
皖公网安备34019202002308
