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  Nondestructive extraction of junction depths of active doping profiles from photomodulated optical reflectance offset curves 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Janusz Bogdanowicz; Fabian Dortu; Trudo Clarysse; Wilfried Vandervorst; Erik Rosseel; et al 出版日期：2010-01-01 |
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