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[高分]
 SAQP spacer merge and EUV self-aligned block decomposition at 28nm metal pitch on imec 7nm node imec 7nm节点上28nm金属间距下的SAQP间隔子合并和EUV自对准块分解
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期刊： 作者：Jae Uk Lee; Soo-Han Choi; Syed Muhammad Yasser Sherazi; Ryoung-Han R. Kim 出版日期：2019-03-18 |
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