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 Preparation and characterization of Mo-doped In2O3 thin films with magnetron Co-sputtering Mo掺杂In2O3薄膜的磁控共溅射制备及表征
相关领域
材料科学
兴奋剂
溅射沉积
表征（材料科学）
薄膜
光电子学
溅射
腔磁控管
纳米技术
工程物理
物理
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(2025-6-4)
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