A comprehensive review on the fabrication of glass microstructures via wet bulk micromachining in HF-based etchants with different masks

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标题	A comprehensive review on the fabrication of glass microstructures via wet bulk micromachining in HF-based etchants with different masks 在不同掩模的HF基蚀刻剂中通过湿式体微加工制备玻璃微结构的综述
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2025.117194
DOI	10.1016/j.sna.2025.117194 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Robbi Vivek Vardhan; Vishal Sahu; Priyanka Dewangan; Yogesh Kumar Srivastava; Prem Pal 出版日期：2025-10-25
求助人	陈勇在 2025-11-13 09:15:22 发布自安徽，悬赏 10 积分
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