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 A comprehensive review on the fabrication of glass microstructures via wet bulk micromachining in HF-based etchants with different masks 在不同掩模的HF基蚀刻剂中通过湿式体微加工制备玻璃微结构的综述
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Robbi Vivek Vardhan; Vishal Sahu; Priyanka Dewangan; Yogesh Kumar Srivastava; Prem Pal 出版日期：2025-10-25 |
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