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 Superconducting Polycrystalline Silicon Layer Obtained by Boron Implantation and Nanosecond Laser Annealing 硼注入和纳秒激光退火获得超导多晶硅层
相关领域
材料科学
多晶硅
退火（玻璃）
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光电子学
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薄膜晶体管
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Richard Daubriac; Pablo Acosta-Alba; C. Marcenat; S. Lequien; Tom Doekle Vethaak; et al 出版日期：2021-01-01 |
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Reni
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