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  Molecular Dynamics Simulations of Vacancy Generation and Migration near a Monocrystalline Silicon Surface during Energetic Cluster Ion Implantation 相关领域
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期刊：Coatings 作者：Guoying Liang; Haowen Zhong; Yinong Wang; Shijian Zhang; Mofei Xu; et al 出版日期：2020-02-05 |
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