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 Mechanical performance of high-entropy (AlCrNbSiTi)N films fabricated by high-power impulse magnetron sputtering over a wide compositional window 宽成分窗口大功率脉冲磁控溅射高熵(AlCrNbSiTi)N薄膜的力学性能
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
高熵合金
微观结构
微晶
合金
溅射沉积
退火（玻璃）
溅射
复合材料
涂层
冶金
硬质合金
碳化物
薄膜
纳米技术
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期刊：Ceramics International 作者：Ching-Yin Lee; Peng-Hsi Chen; Su-Jien Lin; Jien‐Wei Yeh 出版日期：2023-09-13 |
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