Resist profile control in immersion lithography using scatterometry measurements

求助中

文献求助详情

标题	Resist profile control in immersion lithography using scatterometry measurements 相关领域抵抗浸没式光刻平版印刷术薄脆饼沉浸式（数学）临界尺寸扫描仪光刻材料科学纳米技术光学光电子学物理数学纯数学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.599745
DOI	10.1117/12.599745 doi
其它	期刊：Optical Microlithography XVIII 作者：Ivan Pollentier; Monique Ercken; Philippe Foubert; Shaunee Y. Cheng 出版日期：2005-05-12
求助人	physics_xw 在 2025-10-27 10:45:16 发布自贵州，悬赏 20 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
4天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

10:45:21 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

10:45:17 科研通AI机器人（广州）收到请求，开始寻找文献

10:45:16 已向机器人发送请求
4天前

physics_xw Lv7 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 共享精神上传了应助文件

1秒前; 老老实实好好活着发布了新的文献求助10

1秒前; 顾矜上传了应助文件

3秒前; 善学以致用的应助被韩达大采纳，获得10

5秒前; t忒对发布了新的文献求助10

6秒前; 万能图书馆上传了应助文件

6秒前; xiaobadou发布了新的文献求助10

6秒前; 大模型上传了应助文件

7秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

8秒前; Owen上传了应助文件

8秒前; gu发布了新的文献求助30

10秒前; 杨阳洋发布了新的文献求助10

10秒前; xiaobei发布了新的文献求助10

11秒前; 浮游上传了应助文件

11秒前; xinxinxin91发布了新的文献求助10

11秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

13秒前; 王士钰完成签到，获得积分10

13秒前; 欢喜平凡关注了科研通微信公众号

13秒前; 所所上传了应助文件

13秒前; 有魅力的傲白完成签到，获得积分10

13秒前; he发布了新的文献求助10

13秒前; 小万完成签到，获得积分20

14秒前; YY土豆侠完成签到，获得积分10

15秒前; 郑晓芳关注了科研通微信公众号

16秒前; 浮游的应助被第十一话采纳，获得10

17秒前; 科研通AI5的应助被积极的振家采纳，获得10

17秒前; lejunia发布了新的文献求助10

17秒前; 和谐熠彤完成签到，获得积分10

17秒前; SciGPT上传了应助文件

17秒前; 有魅力的傲白发布了新的文献求助10

18秒前; 温暖的德地完成签到，获得积分10

18秒前; 李爱国的应助被Siri不理我采纳，获得10

18秒前; 东方烟完成签到，获得积分10

20秒前; hui完成签到，获得积分10

20秒前; 11完成签到，获得积分10

20秒前; 杨阳洋完成签到，获得积分10

21秒前; 量子星尘发布了新的文献求助30

21秒前; 不知名的呆毛发布了新的文献求助10

23秒前; 李健上传了应助文件

24秒前; JamesPei的应助被he采纳，获得10

26秒前