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 Thermal atomic layer etching of germanium-rich SiGe using an oxidation and “conversion-etch” mechanism 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：А. И. Абдулагатов; Varun Sharma; Jessica A. Murdzek; Andrew S. Cavanagh; Steven M. George 出版日期：2021-02-24 |
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