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Optimization of polishing parameters for surface roughness and material removal in chemical mechanical polishing of hard optical materials 相关领域
抛光
化学机械平面化
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过程(计算)
透明陶瓷
方镁石
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期刊:Optical Materials 作者:Djouda Laadjel; Nabil Belkhir; Edda Rädlein 出版日期:2026-02-24 |
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