| 标题 |
Adhesion and collapse of extreme ultraviolet photoresists and the role of underlayers 相关领域
光刻胶
抵抗
进程窗口
材料科学
平版印刷术
表面能
紫外线
光刻
粘附
分层(地质)
光电子学
限制
光学
纳米技术
复合材料
机械工程
物理
图层(电子)
工程类
古生物学
生物
俯冲
构造学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者:Roberto Fallica; Steven Chen; Danilo De Simone; Hyo Seon Suh 出版日期:2022-07-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)