| 标题 |
Multi-focal Picosecond laser vertical slicing of 6 inch 4H-SiC ingot |
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| DOI |
10.48550/arxiv.2411.18093
doi
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| 其它 |
期刊:arXiv 作者:Jiabao Du; Shusen Zhao; Xiaoyu Lu; Lu Jiang; Shifei Han; et al 出版日期:2024-01-01 |
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(2025-6-4)