Electrothermal MEMS grating based miniaturized spectrometer

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标题	Electrothermal MEMS grating based miniaturized spectrometer 基于电热MEMS光栅的微型光谱仪相关领域材料科学栅栏分光计微电子机械系统衍射光栅光电二极管光学光电子学全息光栅薄脆饼单色仪光谱分辨率绝缘体上的硅硅物理波长谱线天文
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2608480
DOI	10.1117/12.2608480 doi
求助人	热情的骁在 2025-05-23 15:03:30 发布自重庆，悬赏 20 积分
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