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  Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Metal Oxide Thin Films 低温等离子体增强原子层沉积金属氧化物薄膜
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Stephen E. Potts; W. Keuning; E. Langereis; G. Dingemans; M. C. M. van de Sanden; et al 出版日期：2010-01-01 |
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