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  Amorphous SiC Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for Passivation in Biomedical Devices 等离子体增强化学气相沉积非晶SiC薄膜用于生物医学器件钝化
相关领域
材料科学
钝化
无定形固体
纳米技术
薄膜
化学气相沉积
生物相容性
碳化硅
半导体
非晶硅
宽禁带半导体
工程物理
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硅
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化学
工程类
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图层（电子）
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期刊：Materials 作者：Scott Greenhorn; Edwige Bano; Valérie Stambouli; Konstantinos Zekentes 出版日期：2024-02-29 |
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