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Amorphous SiC Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for Passivation in Biomedical Devices 等离子体增强化学气相沉积非晶SiC薄膜用于生物医学器件钝化
相关领域
材料科学
钝化
无定形固体
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薄膜
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期刊:Materials 作者:Scott Greenhorn; Edwige Bano; Valérie Stambouli; Konstantinos Zekentes 出版日期:2024-02-29 |
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