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标题
Amorphous SiC Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for Passivation in Biomedical Devices
等离子体增强化学气相沉积非晶SiC薄膜用于生物医学器件钝化
相关领域
材料科学 钝化 无定形固体 纳米技术 薄膜 化学气相沉积 生物相容性 碳化硅 半导体 非晶硅 宽禁带半导体 工程物理 光电子学 硅 冶金 晶体硅 化学 工程类 有机化学 图层（电子）
网址
https://www.mdpi.com/1996-1944/17/5/1135/pdf?version=1709203...
DOI
10.3390/ma17051135 doi
其它 期刊：Materials
作者：Scott Greenhorn; Edwige Bano; Valérie Stambouli; Konstantinos Zekentes
出版日期：2024-02-29
求助人
蒋时晏 在 2025-12-06 15:55:10 发布自海南，悬赏 10 积分
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