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标题
Amorphous SiC Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for Passivation in Biomedical Devices
等离子体增强化学气相沉积非晶SiC薄膜用于生物医学器件钝化
相关领域
材料科学 钝化 无定形固体 纳米技术 薄膜 化学气相沉积 生物相容性 碳化硅 半导体 非晶硅 宽禁带半导体 工程物理 光电子学 冶金 晶体硅 化学 工程类 图层(电子) 有机化学
网址
DOI
10.3390/ma17051135 doi
其它 期刊:Materials
作者:Scott Greenhorn; Edwige Bano; Valérie Stambouli; Konstantinos Zekentes
出版日期:2024-02-29
求助人
蒋时晏 在 2025-12-06 15:55:10 发布自海南,悬赏 10 积分
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