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标题
Multi Degrees-of-Freedom Hybrid Piezoelectric-Electrostatic MEMS Actuators Integrated With Displacement Sensors
集成位移传感器的多自由度压电-静电混合MEMS致动器
相关领域
流离失所（心理学） 电容感应 执行机构 平面（几何） 平面的 背景（考古学） 炸薯条 数学 物理 计算机科学 几何学 电气工程 工程类 计算机图形学（图像） 心理治疗师 心理学 生物 古生物学
网址
https://doi.org/10.1109/jmems.2023.3341039
AI链接 etsmtl.cadoi.org
DOI
10.1109/jmems.2023.3341039 doi
其它 期刊：Journal of Microelectromechanical Systems
作者：Almur A. S. Rabih; Seyedfakhreddin Nabavi; Michaël Ménard; Frédéric Nabki
出版日期：2023-12-19
求助人
废柴非不飞 在 2025-12-06 09:39:31 发布自贵州，悬赏 10 积分
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