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Study of nanometer-thick graphite film for high-power EUVL pellicle
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DOI
10.1117/12.2218228 doi
其它 期刊:SPIE Proceedings
作者:Mun Ja Kim; Hwan Chul Jeon; Roman Chalykh; Eokbong Kim; Jihoon Na; et al
出版日期:2016-03-19
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Li 在 2026-03-18 10:31:33 发布自北京,悬赏 20 积分
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