Improving machinability of single-crystal silicon by cold plasma jet

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标题	Improving machinability of single-crystal silicon by cold plasma jet
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S152661252...
DOI	10.1016/j.jmapro.2023.05.071 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Xin Liu; Bingqi Wang; Yuheng Li; Yuyang Zhou; Jiahao Zhang; et al 出版日期：2023-06-01
求助人	狂野傲珊在 2026-03-13 16:10:32 发布自美国，悬赏 10 积分
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